Требования к качеству воды для
электронной техники по ОСТ 11.029.003.-80
и нормам американской электронной промышленности
Параметры воды |
Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 |
Марка воды по нормам ASTM D-5127-90 |
А |
Б |
В |
Е-1 |
Е-2 |
Е-3 |
Е-4 |
Удельное сопротивление при температуре 20°С,
МОм/см |
18 |
10 |
1 |
18 |
17,5 |
12 |
0,5 |
Содержание органических веществ (окисляемость),
мг O2/л, не более |
1,0 |
1,5 |
|
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
25 |
50 |
300 |
1000 |
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете
на SiO3-2), мг/л, не более |
0,01 |
0,05 |
0,2 |
0,005 |
0,01 |
0,05 |
1,0 |
Содержание железа, мг/л, не более |
0,015 |
0,02 |
0,03 |
|
Содержание меди, мг/л, не более |
0,005 |
0,001 |
0,002 |
0,5 |
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм,
шт/л, не более |
20 |
50 |
не регла-мент. |
|
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не
более |
2 |
8 |
не регла-мент. |
Хлориды, мкг/л, не более |
|
1 |
10 |
1000 |
Никель, мкг/л, не более |
0,1 |
1 |
2 |
500 |
Нитраты, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Фосфаты, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Сульфат, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
Калий, мкг/л, не более |
2 |
5 |
500 |
Натрий, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
Цинк, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
|